,螺杆式幹式真空泵的工作過程可分為吸氣
、壓縮和排氣三個過程
。隨著轉子的旋轉
,每對相互齧合的齒相繼完成相同的工作循環
,現在以其中一對齒來說明
。
陽轉子按逆時針方向旋轉
,陰螺杆按順時針方向旋轉
。圖中上方的轉子端麵是吸氣斷麵
,下方的端麵為排氣端麵
。
轉於端麵是排氣端麵
。在這裏
,陽轉子沿順時針方向旋轉
,陰轉於沿逆時針方向旋轉。圖中上方的轉子端麵是吸氣斷麵
,下方的端麵為排氣端麵
。
螺杆泵的排氣過程
,齒間容積與排氣孔口連通後
,即開始排氣過程
。隨著齒間容積的不斷縮小
,具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出
,